晶盛機電近日接受調研時表示,公司目前已形成8英寸硅片晶體生長、切片、拋光、外延加工設備全覆蓋,產品已經批量進入客戶產線,國產化加速落地;12英寸硅片晶體生長爐小批量出貨,12英寸加工設備的研發和產業化也在加速推進。
公司已經開發出第三代半導體材料SiC長晶爐、外延設備,其中SiC長晶爐已經交付客戶使用,外延設備完成技術驗證,產業化前景較好。
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